Kurt J. Lesker Company自動薄膜沉積簇工具 OCTOS集群工具是經(jīng)過驗證的研發(fā)和中試生產(chǎn)系統(tǒng)，用于在多個工藝室之間進行真空傳輸。®

高真空互聯(lián)物理氣相薄膜沉積系統(tǒng)可用于制備光學(xué)薄膜、電學(xué)薄膜、磁性薄膜、硬質(zhì)保護薄膜和裝飾薄膜等，工藝性能穩(wěn)定、模塊化結(jié)構(gòu)，采用行業(yè)優(yōu)質(zhì)的軟件控制系統(tǒng)；4英寸鍍膜區(qū)域內(nèi)片內(nèi)膜厚不均勻性：≤±2.5%，8英寸鍍膜區(qū)域內(nèi)片內(nèi)膜厚不均勻性：≤±3.5%，測定標(biāo)準(zhǔn)以Ti靶材，濺射200——500nm厚薄膜，邊緣去5mm，隨機5點取樣測定為準(zhǔn)。